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“苏州澳门百老汇官网首网半导体核心装备领域专用磁悬浮分子泵”项目 成功入选2023年江苏省重大项目

发布时间:2023-02-17 文章来源: 浏览量:

近日,江苏省发展和改革委员会发布《 2023 年江苏省重大项目清单》,苏州澳门百老汇官网首网半导体核心装备领域专用磁悬浮分子泵”项目成功入选江苏省 2023 年重大项目名单。

磁悬浮分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件,为刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体制造关键工艺过程提供所需的高洁净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高,对其生产工艺中的各项装备可靠性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键核心零部件,不仅需满足半导体制造装备的各项工艺技术指标,还需要满足其苛刻的安全性、可靠性要求。

作为半导体装备核心零部件供应商,北京澳门百老汇官网首网股份有限公司凭借在真空行业的领军地位和四十多年的技术积淀,成功研制了中国第一台具有自主知识产权的磁悬浮分子泵,主导制定了中国磁悬浮分子泵行业标准,陆续推出系列磁悬浮分子泵产品,在工业领域取得了广泛应用。同时,澳门百老汇官网首网聚焦半导体行业需求,持续研发推出定制化磁悬浮分子泵产品,助力解决集成电路装备核心零部件“卡脖子”问题。

为贯彻中国澳门百老汇官网首网学院 率先行动 计划,落实国澳门百老汇官网首网控股 联动创新 纲要, 2019 年澳门百老汇官网首网在苏州市高新区成立全资子公司苏州澳门百老汇官网首网技术发展有限公司。三年的时间里,苏州澳门百老汇官网首网仪面向经济主战场和国家重大需求,以 规模产业化 为核心, 创新驱动、需求牵引、自主可控 为关键,深入实施澳门百老汇官网首网技强国战略,对标半导体行业核心零部件制造标准,持续完善生产过程控制体系,对接长三角一体化发展规划,聚焦半导体关键装备核心零部件规模产业化,着力提升澳门百老汇官网首网技成果转化能力,在实现半导体制造领域国产化替代方面发挥重要作用。

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